EM科特扫描电镜在硅片结构的应用

2022/04/24

综述：

纳米结构通常是指尺寸在 100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础，按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系，这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。

仪器介绍：

EM科特台式扫描电镜拥有高分辨率，操作简单快捷方便，确保用户能在极短时间内快速上机操作。

实验步骤：

将具有纳米结构的硅片用双面导电胶带粘在铝制样品托上，直接放入EM科特台式扫描电镜中观察形貌。放大倍数：20000X‐160000X，高信噪比操作，照相速度 10s。

结果讨论：

硅片表面存在纳米线状的结构，结构形态清晰，按照某种规律分布均匀，纳米线宽 25nm 左右。