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EM科特扫描电镜在硅片结构的应用

2020/08/31

EM科特扫描电镜在硅片结构的应用

综述:

纳米结构通常是指尺寸在 100nm 以下的微小结构。以纳米尺度的物质单元为基础,按一定规律构筑或组装一种新的体系。它包括一维的、二维的、三维的体系,这些物质单元包括纳米微粒、稳定的团簇或人造超原子、纳米管、纳米棒、纳米丝以及纳米尺寸的孔洞。结构表征广泛使用扫描电镜。


仪器介绍:

EM科特台式扫描电镜拥有高分辨率,操作简单快捷方便,确保用户能在极短时间内快速上机操作。


实验步骤:

将具有纳米结构的硅片用双面导电胶带粘在铝制样品托上,直接放入EM科特台式扫描电镜中观察形貌。放大倍数:20000X‐160000X,高信噪比操作,照相速度 10s。

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结果讨论:

硅片表面存在纳米线状的结构,结构形态清晰,按照某种规律分布均匀,纳米线宽 25nm 左右。









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