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纳米压痕仪

2018/06/07

纳米压痕仪

基础参数

类型/使用:在真空(SEM,部分真空,惰性气体)中,在空气中
主要缩进模式:真正的位移
测试协议的适应性:可定制软件
升级选项/扩展功能:高温和超高应变率模块


缩进
缩进提示:Berkovich,Cube Corner,Flattop,Wedge,Spherical 等
缩进范围:40μm
位移噪底:<1nm
负载范围:500mN 标准/可选 1.5N
加载本底噪声:4μN/12μN RMS 噪声
窦状模式:200Hz 的位移模式
压痕简介:操作员可以自由定义任何轮廓(位移或载荷)


样品顶端对齐
压头尖远程方法:22mm 范围,1nm 分辨率(闭环)
自动接近模式:超过几毫米
采样位置范围:26x26mm,1nm 分辨率(闭环)
压痕面积(推荐) 10x10mm
室温下的漂移:5nm/min(在真空中)


超高应变率模块
应变率:达 3000s -1
窦状模式:开环 10kHz
启动范围:1μm
测量范围:1N
加载本底噪声:30μN RMS 噪声


高温模块

高温度范围:标准 600℃/可选 800℃
在 600℃时的漂移:10nm/min
在 600℃时的稳定时间:<3 小时
压头尖材料:金刚石,立方氮化硼,蓝宝石,碳化钨等
温度稳定性:10mK 分辨率

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