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Veritas钨灯丝扫描电镜系列

2020/07/28

Veritas钨灯丝扫描电镜系列

Veritas系列保持EM科特(EmCrafts)电子显微镜的高性能高效率,大样品仓内含5轴共心电动样品台,可更轻松地测量大尺寸样品。


EM科特(EmCraftsVeritas系列产品技术亮点:

l大尺寸样品分析  Veritas系列可以分析常规SEM无法分析的大尺寸样品。例如:晶圆,磁盘

l无损样品分析   无需切割即可分析样品。例如PCB,半导体图案分析

l较重样品分析   能够分析较重的样品。例如岩石,铁矿石 


技术指标:

分辨率

2nm

放大倍数

x10-x300000

电子枪

LaB6/CeB6

探测器

二次电子探测器、背散射探测器

真空系统

全自动真空系统(<90s)
涡轮分子泵
旋转叶片泵
电动阀系统

显示模式

聚焦模式 预览模式
慢扫模式 成像模式

自动功能

聚焦
亮度/对比度
物镜光阑摇摆对重
电子枪对重、偏压、饱和


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