Veritas钨灯丝扫描电镜系列

2020/07/28

Veritas系列保持EM科特电子显微镜的高性能高效率，大样品仓内含多功能电动样品台，可更轻松地测量大尺寸样品。

EM科特Veritas系列产品技术亮点：

l大尺寸样品分析  Veritas系列可以分析常规SEM无法分析的大尺寸样品。例如：晶圆，磁盘

l无损样品分析   无需切割即可分析样品。例如PCB，半导体图案分析

l较重样品分析   能够分析较重的样品。例如岩石，铁矿石 

技术指标：

分辨率	2nm
放大倍数	x10-x300000
电子枪	LaB6/CeB6
探测器	二次电子探测器、背散射探测器
真空系统	全自动真空系统（＜90s） 涡轮分子泵 旋转叶片泵 电动阀系统
显示模式	聚焦模式 预览模式 慢扫模式 成像模式
自动功能	聚焦 亮度/对比度 物镜光阑摇摆对重 电子枪对重、偏压、饱和